電子行業(yè)純水設(shè)備價(jià)格需要根據(jù)產(chǎn)水的要求來決定的，比如有的產(chǎn)水質(zhì)量要求比較低，一般就不會使用超濾，樹脂，EDI，只使用一級反滲透純水設(shè)備就能夠達(dá)到要求，而有的產(chǎn)水質(zhì)量要求高，進(jìn)水硬度過高，不僅僅需要一級反滲透純水設(shè)備，還要在反滲透純水前面加入軟化樹脂，將進(jìn)水進(jìn)行軟化。除了這些，還要根據(jù)設(shè)備的材質(zhì)來區(qū)分，比如過濾器有304、316兩種不同的材質(zhì)，價(jià)格自然就不一樣了，所以一般不會有具體的價(jià)格。

以安利吉半導(dǎo)體公司微納電子芯片生產(chǎn)過程中需用到電阻率≥16MΩ·cm的純水設(shè)備為例，針對進(jìn)水水質(zhì)及出水水質(zhì)要求，本純水制備工藝設(shè)計(jì)中采用UF(超濾) +RO(反滲透) +EDI(電除鹽) 組合工藝進(jìn)行處理，達(dá)到電阻率≥16MQ·cm超純水水質(zhì)要求。

一、進(jìn)水水質(zhì)及出水要求

根據(jù)業(yè)主提供的資料，本電子行業(yè)純水設(shè)備原水水源采用安利吉半導(dǎo)體自備水廠生產(chǎn)的符合國家生活飲用水標(biāo)準(zhǔn)的自來水，設(shè)計(jì)超純水產(chǎn)量為：10m³/h，

進(jìn)水主要水質(zhì)指標(biāo)見下表：

出水水質(zhì)達(dá)到實(shí)驗(yàn)室分析用水標(biāo)準(zhǔn)(GB6682-2000)一級標(biāo)準(zhǔn)，其中電阻率要求達(dá)到16MΩ·cm以上。

二，安利吉半導(dǎo)體公司生產(chǎn)微納電子芯片用純水設(shè)備工藝說明及主要設(shè)備參數(shù)：

2.1原水供水系統(tǒng)：

為防止自來水供水量或供水壓力不足，保證后續(xù)用水的穩(wěn)定性，系統(tǒng)設(shè)置一座5m的不銹鋼原水箱，含控制閥、管件及液位控制器；另為了后續(xù)預(yù)處理的穩(wěn)定，設(shè)置恒壓供水系統(tǒng)一套，包含不銹鋼多級泵2臺(一用一備)，泵主要性能參數(shù)為Q=25m³/h，H=0.15Mpa。

2.2預(yù)處理系統(tǒng)：

目前的反滲透膜不能直接對原水進(jìn)行處理，原水中的各種成份會影響和損害其性能和使用壽命，水中的鈣、鎂、鋇等多價(jià)陽離子及微生物等會引起膜的污染和堵塞，反滲透膜的進(jìn)水水質(zhì)要求比較嚴(yán)格，因此，為了滿足反滲透膜高要求的進(jìn)水水質(zhì)，需采取必要的預(yù)處理工藝，完善的預(yù)處理過程是保證反滲透長期順利運(yùn)行的關(guān)鍵。

本設(shè)計(jì)采用超濾(UF)作為反滲透的預(yù)處理工序。相比常規(guī)預(yù)處理方法(即絮凝、沉淀、過濾、活性炭吸附及保安過濾)，采用超濾(UF)用作反滲透預(yù)處理具有以下優(yōu)勢：

①降低投資成本。反滲透膜的污染源之一就是預(yù)處理效果較差導(dǎo)致的微粒沉積， 超濾可以顯著降低進(jìn)水的SDI，過濾效果比傳統(tǒng)預(yù)處理方式更好更穩(wěn)定。另外由于UF出水水質(zhì)穩(wěn)定， 低濁度、低SDI值允許RO提高設(shè)計(jì)流速，從而減少了RO組件、壓力容器以及相關(guān)管件的數(shù)量從而降低投資成本。

②確保出水水質(zhì)。常規(guī)過濾屬毛細(xì)管過濾，而超濾則是表面過濾，兩者去除雜質(zhì)的機(jī)理不同，超濾出水水質(zhì)更好、更穩(wěn)定。

③操作簡單，自動化程度高。相比常規(guī)的過濾工藝，超濾系統(tǒng)具有操作簡單、自動化程度高、性能穩(wěn)定、設(shè)備占地面積小等優(yōu)勢。由于超濾是以機(jī)械篩分原理為基礎(chǔ)的一種溶液分離過程，過濾時(shí)間極為短暫，這使膜濾設(shè)備與其處理水量的容積比極小，而其他過濾設(shè)備遠(yuǎn)不能及。預(yù)處理系統(tǒng)設(shè)置不銹鋼袋式過濾器(10um一臺、超濾系統(tǒng)0.1umPVDF材質(zhì)超濾膜組件)六套及相應(yīng)的加藥系統(tǒng)、化學(xué)清洗及連接管道、儀表等，另設(shè)置一座5m³的超濾產(chǎn)水水箱。

2.3反滲透(RO)系統(tǒng)：

反滲透系統(tǒng)主要設(shè)置不銹鋼高壓泵(Q=20m³/h， H=1.4Mpa) 一臺， 反滲透膜高壓膜殼(8”FRP玻璃鋼，4支裝) 3套， 反滲透膜(BW30-4040) 12套，以及相應(yīng)的化學(xué)清洗及連接管道、儀表、閥門等。

2.4化學(xué)清洗系統(tǒng)：UF及RO共用， 設(shè)置1m清洗箱、清洗泵(Q=10m³/h， H=0.3Mpa) 、酸堿過濾器及相應(yīng)管道、閥門等。

2.5電除鹽(EDI) 系統(tǒng)：通過RO系統(tǒng)處理后的純水電阻率通常在10MΩ·cm左右，不能達(dá)到工藝的使用要求， 因此后續(xù)須增加EDI處理工序。

EDI又稱連續(xù)電除鹽技術(shù)， 在電場的作用下實(shí)現(xiàn)水中離子的定向遷移，從而達(dá)到水的深度凈化除鹽，并通過水電解產(chǎn)生的氫離子和氫氧根離子對裝填樹脂進(jìn)行連續(xù)再生， 因此EDI制水過程不需酸、堿化學(xué)藥品再生即可連續(xù)制取高品質(zhì)純水生產(chǎn)出電阻率高達(dá)15~17MQ·cm的超純水。考慮到源水硬度較高，投加阻垢劑的效果不理想且運(yùn)行成本過高。同時(shí)，EDI進(jìn)水對硬度要求<0.3mg/1，所以在EDI前配置了全自動再生軟水機(jī)2套(一用一備)。

EDI系統(tǒng)采用MK-2EDI膜堆4套，P 010電子式電源4套，以及配套的水泵、電控、閥路系統(tǒng)。

2.6超純水終端

本系統(tǒng)包含10m³氮封式純水水箱(含液位傳感及控制器)

3.運(yùn)行效果

本套超濾+RO+EDI超純水制備組合工藝已建成投運(yùn)至今， 根據(jù)建設(shè)單位的反饋，出水電阻率能穩(wěn)定保持在16~17MΩ·cm之間，從而保證了微納電子芯片生產(chǎn)的質(zhì)量。

對安利吉半導(dǎo)體公司生產(chǎn)微納電子芯片用純水設(shè)備系統(tǒng)的總結(jié)：采用UF+RO+EDI的組合工藝，可確保獲得最佳的水處理工藝性能，能夠長期保證出水電阻>16MΩ·cm。與常規(guī)的酸堿再生相比較，本工藝設(shè)備自動化程度較高，并且省去了酸堿再生所需的費(fèi)用，對環(huán)境不產(chǎn)生任何污染。UF作為RO裝置的預(yù)處理工序，可以有效的降低處理成本，又能保證出水水質(zhì)穩(wěn)定； RO裝置與EDI聯(lián)合使用， 既能有效解決RO出水不能徹底除鹽的缺點(diǎn)，又可以提高EDI的進(jìn)水水質(zhì)， 防止EDI損壞，加大整體凈水效果。UF、RO與EDI結(jié)合使用的技術(shù)，將使純水處理更加低成本、無污染、連續(xù)生產(chǎn)、易操作，給電子行業(yè)生產(chǎn)廠家提供參考。

         安利吉半導(dǎo)體公司生產(chǎn)微納電子芯片用純水設(shè)備

專業(yè)水處理的疑難問題，產(chǎn)品選型問題，可以單擊下面的微信二維碼電話聯(lián)系賀工在線指導(dǎo)，長按微信二維碼可自動識別添加賀工微信溝通解決您的疑難問題

純水設(shè)備

佳潔純水設(shè)備主要生產(chǎn)經(jīng)營反滲透純水，離子交換，中水回用，循環(huán)水預(yù)處理，edi，員工直飲水，生活飲用水，凈化水處理設(shè)備。現(xiàn)已成為研發(fā)，生產(chǎn)銷售，安裝為一體的專業(yè)凈水處理的設(shè)備公司，已連續(xù)5年無質(zhì)量投訴的實(shí)力商家