在大型平板、玻璃光學及半導體制造工藝中，大約有80％以上的工藝直接或間接需要用到超純水，并且大約有一半以上工序，如硅片直接與水接觸后，緊接著就進人高溫過程，此時水中含有的雜質(zhì)就會進入硅片而導致IC器件性能下降、成品率降低。確切一點說，向生產(chǎn)線提供穩(wěn)定優(yōu)質(zhì)的超純水將涉及到企業(yè)的成本問題。

1.預處理系統(tǒng)

預處理系統(tǒng)作為反滲透的前處理，主要目的是去除原水中的懸浮物、膠體、色度、濁度、有機物等妨礙后續(xù)反滲透運行的雜質(zhì)。

預處理的設備主要包括：原水箱、原水泵、多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器等。 

原水箱

原水首先流入原水箱。原水箱對原水的供給起到緩沖作用，協(xié)調(diào)原水的供給量與原水泵的輸入量。當原水的供應量超過原水泵的輸水量時，原水箱水滿，通過原水箱的液位元元控制使用原水供給停止。當原水供應量小于原水泵的輸水量時，原水箱空，原水泵停止運行，起到保護原水泵的作用。

原水泵

用于對原水加壓，為預處理系統(tǒng)提供動力源，該泵具有體積小，高效率，低噪音等特點。 

加藥系統(tǒng)：(絮凝劑)

原水中投加入絮凝劑與原水中膠體、顆粒形成絮凝體，有利于在多介質(zhì)過濾器中被過濾掉，提高過濾效果，進一步降低出水濁度，保證RO進水SDI≤2。

該設備占地小，安裝移動方便。就位后，只要接上水、電，即可使用，操作管理簡便，大大地減少操作人員的勞動強度。藥劑的投加隨高壓水泵的啟停而自動投加,藥劑添加量是可調(diào)的。 

多介質(zhì)過濾器

本系統(tǒng)是對原水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質(zhì)進行去除，同時對原水中的濁度、色度起到降低作用，它完全可能濾掉原水帶來的顆粒、藻類等可見物。

多介質(zhì)過濾是一種先進的微絮凝過濾方式，佳潔提供的多介質(zhì)過濾器含有材質(zhì)各異的多層過濾介質(zhì)，完全能濾除不溶于水中的雜質(zhì)，保證SDI值不大于3，是后級RO的強有力保護屏。能更好的去除水中的懸浮物或非溶解性粒子（氧化物、濁度、顆粒物等），具有低成本，操作維護、管理方便等特點，特別是在降低原水中的濁度、污染指數(shù)等方面具有很好的效果。

多介質(zhì)過濾器反洗周期時間為16-24小時。反洗以壓力參數(shù)設備來控制反沖洗周期，當進出水母管上的壓力差達到0.5kg/cm2時即停止運行進行反沖洗，反洗水可由單獨設置的反洗水泵供水控制和調(diào)節(jié)反洗水流量，反洗水強度應使濾層膨脹15-25%。反洗時送入壓縮空氣，擦洗濾料，其強度為30-50升/秒·米2，反洗水可用反滲透的濃水。

活性炭過濾器

市政自來水在經(jīng)過消毒處理后，官網(wǎng)末梢的殘余余氯是一種強氧化劑，如果不加以去除，會對樹脂和反滲透造成不可逆轉(zhuǎn)的損壞.用活性炭進行吸附處理，可以非常徹底地去除余氯?；钚蕴坎粌H吸附能力強，而且吸附容量大，其主要原因就是其多孔結(jié)構(gòu)，其比表面積高達500-700m2/g。正是由于活性炭具有發(fā)達的細孔結(jié)構(gòu)和巨大的比表面積，因此可以完全吸附水中的余氯及吸附部分有機物，而且對色度、臭味也有較好的去除效果。

2.反滲透脫鹽水系統(tǒng)

反滲透系統(tǒng)承擔了主要的脫鹽任務。反滲透系統(tǒng)設備包括阻垢劑加藥裝置、保安過濾器、一級高壓泵、一級反滲透膜組、NaOH加藥裝置、二級高壓泵、二級反滲透膜組、化學清洗系統(tǒng)等。 

2.2.1阻垢劑加藥裝置 

阻垢劑加藥系統(tǒng)在反滲透進水中加入阻垢劑，防止反滲透濃水中碳酸鈣、碳酸鎂、硫酸鈣等難溶鹽濃縮后析出結(jié)垢，堵塞反滲透膜。從而損壞膜元件的應用特性，因此在進入膜元件之前設置了阻垢劑投加裝置。阻垢劑是一種有機化合物質(zhì)，除了能在朗格利爾指數(shù)（LSI） ＝2.6情況下運行之外，還能阻止SO42-的結(jié)垢，它的主要作用是相對增加水中結(jié)垢物質(zhì)的溶解性，以防止碳酸鈣、硫酸鈣等物質(zhì)對膜的阻礙，同時它也可以降低鐵離子堵塞膜的微孔。

本系統(tǒng)推薦使用進口PTP-0100復合阻垢劑，它具有：

1）抑制析出作用。

2）分散作用。

3）晶格扭曲作用。

4）絡合作用。

2.2.2 保安過濾器

經(jīng)過前面的石英過濾器、活性炭過濾器之后，原水中大顆粒懸浮物已基本被除去，而一些小顆粒懸浮物則沒有被除去。在這里，再進行一次微濾，去除5μm以上的懸浮物，以保護RO膜不被堵塞。同時，一些活性炭細沫也被截留在反滲透系統(tǒng)之外。保安裝過濾器進出口設壓力指示表，當壓差增大到設定值時更換濾芯。

2.2.3 NaOH加藥裝置 

在二級反滲透高壓泵前加入NaOH，用以中和水中的CO2形成易于被RO膜脫除的Na2CO3。二氧化碳有兩種效果：首先CO2和Ca2+、Mg2+形成碳酸鹽類結(jié)垢，這種垢的形成與給水的離子濃度和PH有關。第二，由于CO2的電荷變化與PH值有關，而其被RO和EDI的除去都依賴于其電荷，他的去除效率是有變化的。即使較低的CO2都能顯著地降低產(chǎn)品水的電阻率。所以本工藝設計了加堿調(diào)PH值技術，大大提高了RO系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)，滿足EDI 裝置對其進水水質(zhì)的要求，真正的發(fā)揮出EDI的先進性。 

2.2.4高壓泵

高壓泵是反滲透設備的主要動力設備，高壓泵設置有過熱保護，泵前后分別設置低、高壓保護開關。當高壓泵進水壓力低于設定值后，高壓泵停運，以保護高壓泵，當高壓泵出口壓力高于設定值后，高壓泵停運，以保護反滲透膜。

2.2.5清洗裝置

反滲透膜在長期運行中，表面會逐漸有進水中存在的各種污染物的沉積而引起膜的污染，這造成系統(tǒng)性能（脫鹽率和產(chǎn)水量）的下降，組件進出口壓差的升高；膜的定期清洗是防治膜污染的主要措施之一。

反滲透裝置在停運和化學清洗前，都需要進行低壓水沖洗；

在運行較長時間后，若壓差明顯增大，產(chǎn)水量明顯下降，則需要進行化學清洗。

清洗劑選用膜專用清洗藥劑，絕對無污染、無化學藥劑殘留；清洗裝置包括清洗水泵、清洗水箱以及清洗用精密過濾器等。

2.2.6反滲透裝置

反滲透系統(tǒng)主要去除水中溶解鹽類，同時去除一些有機大分子，前階段未去除的小顆粒等。包括：高壓泵、反滲透裝置、反滲透清洗系統(tǒng)等。

預處理系統(tǒng)產(chǎn)水進入反滲透膜組，在壓力作用下，大部分水分子和微量其它離子透過反滲透膜，經(jīng)收集后成為產(chǎn)品水，通過產(chǎn)水管道進入后續(xù)設備；水中的大部分鹽分和膠體、有機物等不能透過反滲透膜，殘留在少量濃水中，由濃水管排出。

在反滲透裝置停運時，自動沖洗3-5分鐘，以去除沉積在膜表面的污垢，使裝置和反滲透膜得到有效保養(yǎng)。 

反滲透膜經(jīng)過長期運行后，會積累某些難以沖洗的污垢，如有機物、無機鹽結(jié)垢等，造成反滲透膜性能下降。這類污垢必須使用化學藥品進行清洗才能去除，以恢復反滲透膜的性能?；瘜W清洗使用反滲透清洗裝置進行，裝置包括一臺清洗液箱、清洗過濾器、清洗泵以及配套管道、閥門和儀表。當膜組件受污染時,可以用它進行RO系統(tǒng)的化學清洗。 

2.2.7 RO產(chǎn)水箱 

用于儲存反滲透產(chǎn)水，起到緩沖和調(diào)節(jié)水量的作用，防止進水壓力波動，保證高壓泵的安全穩(wěn)定運行，并通過控制系統(tǒng)實現(xiàn)與高壓泵的連鎖。通過水箱的調(diào)節(jié)可保證RO系統(tǒng)在清洗時有足夠的水量供應后段用水，實現(xiàn)24小時連續(xù)運行。

3.EDI高純水系統(tǒng) 

EDI精處理系統(tǒng)主要功能是深一層除去水中的鹽類和離子，使水的純度提高（電阻率≥15.0MΩ.CM）；該裝置產(chǎn)出水水質(zhì)穩(wěn)定，產(chǎn)出的水質(zhì)的電阻率可達16.0MΩ左右。

設備主要包括：EDI給水泵、紫外線殺菌器、精密濾器、EDI 裝置等。 

3.3.1紫外線殺菌器

設置紫外線殺菌燈，將水中余留的少量細菌殺死，確保進入EDI系統(tǒng)的細菌指標達到進水要求。其紫外線波長為254nm，照射強度30000μws/cm2，使用壽命大于8000 h，殺菌率>99%。

紫外線殺菌的特點是：殺菌能力強，接觸時間短：設備簡單，操作管理方便，處理時不改變水的物理和化學性質(zhì)；處理后的水無色、無味、無中毒的危害；不會增加像氯氣殺生時出現(xiàn)的氯離子，因此不會因帶入附加物而造成二次污染。

3.3.2精密過濾器

0.22μm 過濾器的作用是截留經(jīng)紫外線殺菌器殺死的細菌尸體，防止進入EDI系統(tǒng)。過濾器中的濾芯，當過濾器進出口壓差大于設定值（通常為0.07～0.1Mpa）時應當更換。安裝濾芯時應上下對中，否則會損壞濾芯，更嚴重的會失去過濾作用。

3.3.3  EDI裝置 

EDI裝置是應用有反滲透系統(tǒng)之后，取代混合離子交換床的成熟技術具有產(chǎn)水品質(zhì)穩(wěn)定，運行費用低，操作管理方便。占地面積小及無有害廢水排放等優(yōu)點。超純水制備工藝的發(fā)展方向，已被全世界主要水處理工程公司所認證。自1986年EDI技術工業(yè)化以來，已有數(shù)千套EDI投入支行，尤其在制藥、半導體、電力和光電等工業(yè)中得到了非常廣泛的應用。

EDI正常運行的最低條件：

以下是保證EDI正常運行的最低條件。為了使系統(tǒng)運行效果更佳，系統(tǒng)設計時應適當提高這些條件。

★給水：RO純水，一般水的電導率為4-30us/cm。

★PH：5.0-8.0(在此PH條件下，水硬度不能太高)

★溫度：5-35℃

★進水壓力：最大為4kg/cm2(60psi)，最小為1.5kg/cm2(25psi)。

注意：組件壓力損失取決于流量和水溫。 

EDI組件標準配置：

★出水壓力：濃水和電極水的出口壓力必須低于產(chǎn)品的出口壓力。

★硬度（以CaCO3計）：最大為1.0ppm，建議采用0.1ppm。

★有機物：最大為0.05ppm。

★氧化劑：最大為0.05ppm（CL2），0.02ppm（03）。

★變價金屬：最大為 0.01 ppm Fe。

★二氧化硅：50-150ppb。

★二氧化碳CO2的總量：二氧化碳含量和PH值將明顯影響產(chǎn)品水電阻率。在大于10ppm時般應在EDI設備前安裝脫氣裝置。

4.拋光混床（SMB）系統(tǒng)

設置拋光混床是為了更好地降低EDI系統(tǒng)過程中未脫盡的陽離子、陰離子，防止管路系統(tǒng)的二次污染，滿足生產(chǎn)給水的需要，保證出水電阻率≥17.5-18.0MΩ.cm。拋光混床內(nèi)裝填的樹脂為核級樹脂，失效后無需再生，直接更換。

在后續(xù)的水處理工藝中推薦采用拋光混合離子交換系統(tǒng)。這樣，一方面既可發(fā)揮樹脂交換容量大、無需再生等優(yōu)越性，另一方面有利于保證出水水質(zhì)（出水電阻率≥17.5-18.0MΩ），降低設備運行成本。

終端過濾器 

終端采用過濾精度為0.1微米的終端過濾裝置，以截留水中的微細顆粒和細菌尸體，保證出水的顆粒物含量指標滿足要求。該裝置濾芯采用0.1μm絕對過濾芯,并且過濾器罐體采用不銹鋼材質(zhì)。

超純水的儲存、分配及滅菌

對于一個有經(jīng)驗的水處理公司來講，確定科學合理的純水制備工藝流程，才能制備出既可以達到用戶所需純水的化學指標，又能滿足其物理質(zhì)量標準的純水。實踐證明，如果出水水質(zhì)不合格，多數(shù)情況出現(xiàn)在純水在儲存及分配過程中的細菌二次污染?？茖W的設計純水儲存和分配二環(huán)節(jié)，是保證純水不受二次污染的重要手段。為此，佳潔設計了真正的大循環(huán)供水方式，設計了20-30%的循環(huán)量，且回水管路加裝回水紫外線，可有效的預防微生物污染。大循環(huán)管道采用低溶出物的C-PVC材質(zhì)，減少純水在輸送過程中的微離子析出。

佳潔公司20年專業(yè)從事水處理設備的技術開發(fā)、生產(chǎn)及工程設計施工于一體的創(chuàng)新型高新技術企業(yè)，公司有著雄厚的技術力量及豐富的工程實施經(jīng)驗，已成功服務于國內(nèi)8600多家商戶，以水處理解決方案技術為核心，為客戶量身制作最適合的水處理設備。公司長期從事純水設備的研發(fā)，生產(chǎn)，安裝，維修，出租為一體的水處理服務公司，集了眾多膜水分離專業(yè)技術人才，公司主營：RO反滲透純水設備離子交換，中水回用循環(huán)水預處理，edi員工直飲水，生活飲用水，凈化水處理設備。

佳潔純水設備主要生產(chǎn)經(jīng)營反滲透純水，離子交換，中水回用，循環(huán)水預處理，edi，員工直飲水，生活飲用水，凈化水處理設備?，F(xiàn)已成為研發(fā)，生產(chǎn)銷售，安裝為一體的專業(yè)凈水處理的設備公司，已連續(xù)5年無質(zhì)量投訴的實力商家