超純水在電子工業(yè)主要是觸摸屏，線路板、電子元器件生產(chǎn)中的重要作用日益突出，超純水水質(zhì)已成為影響觸摸屏，線路板、電子元器件產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)成品率及生產(chǎn)成本的重要因素之一，水質(zhì)要求也越來越高。在觸摸屏電子元器件生產(chǎn)中，超純水主要用作清洗用水及用來配制各種溶液、漿料，不同的觸摸屏幕電子元器件生產(chǎn)中純水的用途及對水質(zhì)的要求也不同。

     觸摸屏清洗超純水設(shè)備去除雜質(zhì)：

　　1、溶解的無機(jī)鹽

　　有鈉、鈣、鎂等鹽類，溶于水形成正離子。含有這些離子的水沖洗半導(dǎo)體器件時(shí)，會使這些不純物擴(kuò)散到集成電路表面，造成短路。過去除去水中無機(jī)鹽是將水蒸餾，但就是三次重蒸餾水，水的電阻率僅3兆歐—厘米，水中仍含有大于01ppm的NaCl。最近有用反滲透法去離子。所以要用離子交換樹脂。陽離子交換脂和陰離子交換樹脂分別使用，易于再生，混合床離子交換樹脂用在離子交換的終級，起把關(guān)的作用。這樣出來的水可達(dá)18兆歐*厘米(25℃)。

　　2、溶解的有機(jī)物

　　有工業(yè)排出污物、洗滌劑、生物分解物和微生物的新陳代謝產(chǎn)物。這些可以用活性炭吸附方法除去。炭床要置于離子交換樹脂之前，因活性炭本身會帶來雜質(zhì)。必須注意，進(jìn)入樹脂床的水要先除去有機(jī)物，因?yàn)殡x子交換樹脂易為有機(jī)物(如腐蝕酸)污染。反滲透可除去分子量大于300的有機(jī)物，分子量小于300的有機(jī)物可除去90%。

　　3、粒子物質(zhì)

　　很多地方都容易產(chǎn)生，如炭床、樹脂床、深層過濾等一些設(shè)備。雖然用一些方法使達(dá)到高電阻率，但沒有有效地除去粒子物質(zhì)。這就會使半導(dǎo)體器件出現(xiàn)針孔、短路、斷路、內(nèi)部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷。除去粒子物質(zhì)，只有用膜濾，一般標(biāo)準(zhǔn)用孔徑為0.45微米的微孔濾膜，特殊需要用孔徑為0.22微米的微孔濾膜，除去膠體鐵、膠體硅和小細(xì)菌。反滲透也能除去小粒子。

　　4、微生物

　　可看作粒子態(tài)物質(zhì)。但微生物在適宜條件下會迅速繁殖。在炭床和樹脂床內(nèi)，當(dāng)有機(jī)物積累較多時(shí)，微生物繁殖特別迅速。倘若不限制在一個(gè)范圍以內(nèi)，就會妨礙炭濾的進(jìn)行和嚴(yán)重污染離子交換樹脂。甚至當(dāng)水分蒸發(fā)時(shí)，在炭床和樹脂床內(nèi)，由于微生物的代謝產(chǎn)物而形成硬膜。對于離子交換樹脂，再生時(shí)用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿可以殺死細(xì)菌等微生物，若再生周期長，效果就要差些。對混合樹脂床，微生物的處理則比較麻煩。