超純水:既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm極限值。 超純水常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等,也作為其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷線路板、真空管等制作的材料。
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