微電子純水設備，微電子工業(yè)是信息產(chǎn)業(yè)的基礎。超純水是微電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的重要基礎材料，超純水技術(shù)是其不可忽視的重要支撐技術(shù)之一。隨著21世紀信息化世紀的到來，超純水技術(shù)也必須隨著微電子技術(shù)的高速發(fā)展而同步發(fā)展，并努力提高到一個新的水平。微電子元件在生產(chǎn)時會用到大量的清洗用水，清洗用水的水質(zhì)必須要達到一定的電阻率才能保證清洗干凈，不會留下殘留物質(zhì)，所以微電子元件對于清洗用水的水質(zhì)要求非常嚴格。

微電子生產(chǎn)純水的水質(zhì)要求：

大家對微電子純水設備已經(jīng)非常了解了，對超純水回收已日益引起重視,隨著微電子生產(chǎn)對超純水水質(zhì)要求的不斷提高。以及超純水技術(shù)的不斷進步和精處理技術(shù)的不斷完善、提高，超純水制取成本(包括建設費用及運行費用)亦不斷提高。為了節(jié)約能源，降低制水成本，并減輕對環(huán)境的污染，近十年來，充分回收利用生產(chǎn)過程使用后水質(zhì)仍然較好的純水問題，在國內(nèi)外正日益引起重視。

1.回收率

為了節(jié)約純水用量，一方面要積極改進清洗工藝 ，一方面要積極回收、綜合利用清洗后的排水。通常認為，回收率為 50％~70％較為經(jīng)濟。

2.回收水水質(zhì)控制指標

對于回收水的水質(zhì)控制，目前尚無統(tǒng)一的標準 ，可根據(jù)生產(chǎn)工藝的水質(zhì)要求，排水水質(zhì)及設計回收率綜合確定?；厥账|(zhì)控制得松，則回收率提高，回收處理費用也會增高。通常，凡TOC小于5.0Mg／1、25℃ 時水的電阻率大于2000Ω·cm的排水，均可回收利用。

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             深圳力合微電子12噸純水設備現(xiàn)場圖 

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