張家港純水設(shè)備工程合作實(shí)例有張家港凱思半導(dǎo)體，張家港華泰玻璃，張家港豐瑞德紡織制造，東莞佳潔淺談下張家港凱思半導(dǎo)體所用純水設(shè)備工程的設(shè)計(jì)要點(diǎn)，給大家在選擇廠家和設(shè)備的時(shí)候做個(gè)參考：純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)主要涉及到工藝流程、設(shè)備和運(yùn)行成本。在半導(dǎo)體行業(yè)，水質(zhì)的好壞直接影響到產(chǎn)品的不良率。純水設(shè)備工程設(shè)計(jì)的核心在保證穩(wěn)定的水質(zhì)的前提下，優(yōu)化流程，降低成本。在設(shè)計(jì)系統(tǒng)時(shí)應(yīng)在水質(zhì)、工藝流程和成本之間找到一個(gè)最優(yōu)化的平衡點(diǎn)。系統(tǒng)優(yōu)化可以從以下幾個(gè)方面著手：
1.純水設(shè)備工程工藝流程的確定
根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)確定相：應(yīng)的工藝流程。通常，根據(jù)不同情況對超純水處理系統(tǒng)的部分單元進(jìn)行增減，不同行業(yè)要求的不同水質(zhì)。例如，光伏行業(yè)的太陽能級多晶硅超純水要求電阻率為 10 M?-cm@25 ℃，光電產(chǎn)業(yè)中的藍(lán)寶石襯底的超純水要求電阻率至少為 16 M?-cm@25 ℃，集成電路 8 英寸超純水要求電阻率至少為 18 M?-cm@25 ℃。同時(shí)，其他的微粒數(shù)、二氧化硅、總有機(jī)碳、溶氧等指標(biāo)與電阻率息息相關(guān)。
2.純水設(shè)備工程成本的優(yōu)化：
純水系統(tǒng)的成本主要為設(shè)備成本和運(yùn)行成本。其中，設(shè)備成本占的比例較大。確定工藝流程后，對可以采用國內(nèi)設(shè)備堅(jiān)決采用國內(nèi)設(shè)備，如果必須采用國外設(shè)備，必須考慮到設(shè)備的使用維護(hù)，例如備品備件。對市場出現(xiàn)的技術(shù)含量高、投資成本高的設(shè)備，也不要一味追求。在整個(gè)系統(tǒng)中，分析儀器和控制系統(tǒng)擔(dān)任了重要的角色。目前，純水系統(tǒng)的分析儀器大部分已國產(chǎn)化， 控制系統(tǒng)一般采用西門子公司的集成控制系統(tǒng)。
為了降低原水消耗，采用的措施主要有：選擇大通量的反滲透膜，將濃水率控制到 10 %左右；完善回收系統(tǒng)，提高水的利用率，降低單位成本。為了降低電力消耗，我們嚴(yán)格控制高耗能環(huán)節(jié)，如 RO 高壓泵和純水輸送泵配備先進(jìn)的西門子變頻系統(tǒng)。對整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生的廢水采用分類回收處理，極大地降低了水池建造和藥劑消耗費(fèi)用等。
3.純水設(shè)備工程系統(tǒng)的穩(wěn)定性
一個(gè)優(yōu)秀的系統(tǒng)必須保證穩(wěn)定的合格水質(zhì)。為了保證系統(tǒng)穩(wěn)定性，在設(shè)備方面，如泵、過濾系統(tǒng)、離子交換系統(tǒng)等采用N+1原則進(jìn)行設(shè)計(jì)。對電力系統(tǒng)，采用分為市電、緊急電源和不間斷電源三類供電。對控制系統(tǒng)，采用冗余和支持熱插拔，能保證系統(tǒng)在任何時(shí)候穩(wěn)定運(yùn)行。
4.純水設(shè)備工程管路設(shè)計(jì)
純水系統(tǒng)對管材材質(zhì)要求甚高。為了降低管材成本，我們在 RO 前段，通常采用聚氯乙烯 UPVC，從RO到純水箱，通常采用高潔度聚丙烯PP，從超純水箱到POU，采用的是高潔度聚偏二氟乙烯 PVDF，而該段回收系統(tǒng)采用普通的聚偏二氟乙烯PVDF。通過這樣合理搭配，可以降低管材的成本近三成。
張家港凱思半導(dǎo)體10T/H雙級RO+EDI純水設(shè)備工程
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