在半導(dǎo)體制作工藝中.50%以上的工序中硅片與超純水直接接觸、80%以上的工序需要進(jìn)行化學(xué)處理，而化學(xué)處理又與超純水有關(guān)水中的雜質(zhì)會進(jìn)入硅片，如帶入過量的雜質(zhì)，就會導(dǎo)致器件性能下降.影響產(chǎn)品性能因此，制備高品質(zhì)的超純水已成為發(fā)展大規(guī)模集成電路的重要前提技術(shù)，如果您正在找經(jīng)驗豐富的半導(dǎo)體行業(yè)專用超純水設(shè)備生產(chǎn)公司，請考慮東莞佳潔。您可以從性價比，專業(yè)度來考量。

一，半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝要滿足以下的特點：

1.1水量大、水質(zhì)高

微電子行業(yè)的發(fā)展循環(huán)周期大約為2年，這就需要不斷提高超純水的水質(zhì)如表1所示，集成電路的結(jié)構(gòu)變化對應(yīng)超純水的水質(zhì)參數(shù)。而且，磚片直徑的加大，需要超純水的水最增大；

1.2系統(tǒng)的穩(wěn)定性高，運(yùn)行的連續(xù)性強(qiáng)

由于水質(zhì)的需要，必須在超純水系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行的各個階段防止任何可能的失誤避免停機(jī)現(xiàn)象，因非連續(xù)性的產(chǎn)水將引起水質(zhì)的波動在-個純水流程中，非穩(wěn)定的水流將導(dǎo)致水的污染，如顆粒的產(chǎn)生。

1.3投產(chǎn)前需時短

基于半導(dǎo)體市場的資金壓力，時間是一個重要因素，需要盡量壓縮從決策建廠到投產(chǎn)運(yùn)行間的時間，即投產(chǎn)前需時：對于超純水系統(tǒng)，要縮短超純水設(shè)備工程的投產(chǎn)前需時，就要對超純水設(shè)備的生產(chǎn)時間及安裝、調(diào)試時間進(jìn)行優(yōu)化

1.4超純水設(shè)備系統(tǒng)有一定的靈活性，易于擴(kuò)產(chǎn)

半導(dǎo)體業(yè)由于技術(shù)發(fā)展迅速、市場變化大，其生產(chǎn)能力具有波動性。所以，要求與之配套的超純水系統(tǒng)要有一定的可調(diào)節(jié)性、留有合理的余量，易于擴(kuò)產(chǎn)隨著0.25uum和0.18um甚至0.08wm線寬技術(shù)的引入，對超純水設(shè)備供水的靈活性，安全性，及時性提出了更高的要求，

                                 樂依文半導(dǎo)體15T/H超純水設(shè)備 

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