純水系統(tǒng)工業(yè)生產(chǎn)
工業(yè)純水處理設(shè)備通常由原水預(yù)處理系統(tǒng)、反滲透純化系統(tǒng)、超純化后處理系統(tǒng)三部分組成。預(yù)處理的目的主要是使原水達(dá)到反滲透膜分離組件的進(jìn)水要求,保證反滲透純化系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。反滲透膜系統(tǒng)是一次性去除原水中98%以上離子、有機(jī)物及100%微生物(理論上)經(jīng)濟(jì)高效的純化方法。超純化后處理系統(tǒng)通過多種集成技術(shù)進(jìn)一步去除反滲透純水中尚存的微量離子、有機(jī)物等雜質(zhì),以滿足不同用途的終水質(zhì)指標(biāo)要求工業(yè)純化水系統(tǒng)主要分為:預(yù)處理、反滲透兩部分。系統(tǒng)以反滲透裝置為核心設(shè)備,其它設(shè)備是為其配套服務(wù)的。
工藝流程:原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→活性碳過濾器→軟水器(視具體水質(zhì)好壞)→保安過濾器→一級反滲透→生產(chǎn)線用水點。
純水設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域:
工業(yè)純水設(shè)備是用于工業(yè)生產(chǎn)用水水的純水制取裝置。工業(yè)用純水機(jī)可以用于:飲用水、瓶裝水、食品工業(yè)用水、半導(dǎo)體工業(yè)、精細(xì)化工、光學(xué)工業(yè)用水、電鍍用水、醫(yī)藥用水、透析醫(yī)療用水、代替各類蒸餾水及超純水供水等。
微電子行業(yè)包括了電解電容器生產(chǎn)、電子管生產(chǎn)、顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、液晶顯示器的生產(chǎn)、晶體管生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、單晶硅、多晶硅生產(chǎn)、電子新材料生產(chǎn)等生產(chǎn)工藝,都需要工業(yè)純水。
電子、半導(dǎo)體、液晶顯示、光伏工業(yè)生產(chǎn)在制作過程中,往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質(zhì)達(dá)不到生產(chǎn)工藝用水的要求或者水質(zhì)不穩(wěn)定的話,會影響到后續(xù)工藝的處理效果和使用壽命。在光伏行業(yè)電子管生產(chǎn)中,如其中混入雜質(zhì),就會影響電子的發(fā)射,進(jìn)而影響電子管的放大性能及壽命,在顯像管和 陰極射線管生產(chǎn)中,其熒光屏內(nèi)壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質(zhì),如其配制純水中含銅在8ppb以上,就會引起發(fā)光變色;含鐵在50ppb以上就會使發(fā)光變色、變暗、閃動并會造成氣泡、條跡、漏光點等廢次品。
在黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)的12個工序中,玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗等5個工序需使用純水,每生產(chǎn)一個晶體管需高純水80kg。液晶顯示器的屏面需有純水清洗和用純水配液,如純水中有金屬離子、微生物、微粒等雜質(zhì),就會使液晶顯示電路發(fā)生故障,影響液晶屏質(zhì)量,導(dǎo)致報廢、次品。在晶體管、集成電路生產(chǎn)中,純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設(shè)備的冷卻水,配制電鍍液等。集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成品率關(guān)系很大。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結(jié)耐壓降低,III族元素(B、Al、Ga等)會使N型半導(dǎo)體特性惡化,V族素(P、As、Sb等)會使P型半導(dǎo)體特性惡化,水中細(xì)菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%)會使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導(dǎo)致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面,就會引起電路短路或特性變差。因此水的質(zhì)量相當(dāng)重要。采用反滲透加EDI的脫鹽工藝,可以達(dá)到超純水標(biāo)
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